凈化工程的歸類

凈化工程就是指操縱商品(如硅集成ic等)所觸碰空氣的潔凈度等級及溫度濕度，使商品能在一個優(yōu)良的區(qū)域環(huán)境的空間中生產(chǎn)加工、制造。此區(qū)域環(huán)境的空間的設(shè)計(jì)施工全過程就可以稱之為凈化工程。

漩渦式(TurbulentFlow)

氣體由空調(diào)機(jī)組經(jīng)通風(fēng)風(fēng)管與潔凈房間內(nèi)之空氣過濾網(wǎng)(HEPA)進(jìn)到凈化室，并由凈化室兩邊隔斷板墻或架空地板

送風(fēng)。氣旋非直線式運(yùn)作而呈不規(guī)律之漩渦或渦旋情況。此形式適用潔凈室等級1,000-100,000級。

優(yōu)勢：結(jié)構(gòu)簡易、系統(tǒng)軟件修建低成本，凈化室的擴(kuò)張較為非常容易，在一些獨(dú)特主要用途場地，可并且用無塵工作臺，提升潔凈室等級。

缺陷：漩渦導(dǎo)致的浮塵顆粒于室內(nèi)空間設(shè)計(jì)懸浮不容易排出來，易環(huán)境污染工藝商品。此外若系統(tǒng)軟件終止運(yùn)行再激話，欲達(dá)要求之潔凈度等級，通常須用時非常長一定時間。

凈化工程層.流式(Laminar)

層.流式氣體氣旋運(yùn)作成一勻稱之直線式，氣體由覆蓋面積100%之過濾裝置進(jìn)到房間內(nèi)，并由架空地板或兩邊輕質(zhì)隔墻板送風(fēng)。此形式適用潔凈室等級需定較高的區(qū)域環(huán)境應(yīng)用，通常其潔凈室等級為Class1~100。其形式可分成兩種：

(1)水準(zhǔn)層.流式：平移式氣體自過濾裝置單方位吹出，由對邊墻面之送風(fēng)系統(tǒng)軟件送風(fēng)，浮塵隨風(fēng)頻排出來戶外，通常在下流側(cè)環(huán)境污染較比較嚴(yán)重。

優(yōu)勢：結(jié)構(gòu)簡易，運(yùn)行后短期內(nèi)內(nèi)就可以變?yōu)槠椒€(wěn)。

缺陷：修建花費(fèi)比漩渦式高，室內(nèi)空間設(shè)計(jì)不容易擴(kuò)張。

(2)豎直層.流式：屋子吊頂天花板徹底以ULPA過濾裝置遮蓋，氣體由上向下吹，必得較高之潔凈度等級，在工藝中或工作員所造成的浮塵可迅速排出來戶外而不容易危害其它工作地區(qū)。

優(yōu)勢：管理方法非常容易，運(yùn)行剛開始短期內(nèi)內(nèi)就可以達(dá)平穩(wěn)情況，不容易為作業(yè)狀態(tài)或工作工作人員所危害。

復(fù)合型(MixedType)

復(fù)合型為將漩渦式及層.流式給予復(fù)合型或并且用，可出示部分超潔凈之氣體。

(1)潔凈隧道施工(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA過濾裝置將工藝地區(qū)或工作地區(qū)100%遮蓋使?jié)崈羰业燃壧嵘?0級之上，可節(jié)約安裝運(yùn)行花費(fèi)。此形式需將工作工作人員之工作區(qū)域與商品和設(shè)備維修給予防護(hù)，以防止設(shè)備維修時危害工作及質(zhì)量。ULSI工藝大多數(shù)選用此類形式。

潔凈隧道施工另有兩項(xiàng)優(yōu)勢：A.延展性擴(kuò)張非常容易；B.檢修設(shè)備維修時可在維修區(qū)隨便實(shí)行。

(2)潔凈管路(CleanTube)：將商品步驟歷經(jīng)的自動化生產(chǎn)線包圍著并清潔解決，將潔凈室等級增至100級之上。因商品和操作工及發(fā)塵區(qū)域環(huán)境互相防護(hù)，小量之排風(fēng)就可以獲得優(yōu)良之潔凈度等級，可節(jié)約能源，不需人工服務(wù)的自動化技術(shù)生產(chǎn)流水線為最適合應(yīng)用。藥物、食品類業(yè)內(nèi)及半導(dǎo)體材料業(yè)內(nèi)均可用。

(3)并裝部分凈化室(CleanSpot)：將潔凈室等級10,000~100,000之漩渦潔凈房間內(nèi)之商品工藝區(qū)的潔凈室等級提升為10~1000級之上，認(rèn)為生產(chǎn)加工的用處；凈化工作臺、潔凈工作棚、潔凈箱式風(fēng)機(jī)即屬該類。

潔凈工作棚：為在漩渦式之凈化室的空間內(nèi)以抗靜電之全透明塑料薄膜排成一小的空間，選用單獨(dú)之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)發(fā)電機(jī)組而變成一高級之潔凈的空間，其級別為10~1000級，高寬比在2.5米長，覆蓋范圍約十米2下列，四支支撐并改裝活動輪，能為延展性應(yīng)用。